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特種材料
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碳化硅一體舟托
產(chǎn)品材料:碳化硅;產(chǎn)品結(jié)構(gòu)形式:一體燒結(jié)成型;產(chǎn)品用途:在線擴(kuò)散/退火/LPCVD等自動(dòng)上下料機(jī),硅片花籃的運(yùn)輸載具。
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碳化硅小舟
產(chǎn)品材料:碳化硅;產(chǎn)品結(jié)構(gòu)形式:一體燒結(jié)成型;產(chǎn)品用途:在線擴(kuò)散/退火/LPCVD等自動(dòng)上下料機(jī),承載硅片。
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碳化硅拼裝舟托
產(chǎn)品材料:碳化硅;產(chǎn)品結(jié)構(gòu)形式:分體燒結(jié)成型,膠粘拼接組裝;產(chǎn)品用途:在線擴(kuò)散/退火/LPCVD等自動(dòng)上下料機(jī),硅片花籃的運(yùn)輸載具。
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粗絲熱場(chǎng)
選用粗規(guī)格FeCrAl發(fā)熱絲作為加熱體,優(yōu)越的溫度均勻性及產(chǎn)品一致性和較長(zhǎng)的使用壽命;適用于擴(kuò)散、氧化、LPCVD、PECVD等機(jī)型。
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細(xì)絲熱場(chǎng)
LAPLACE熱場(chǎng)專為光伏熱制程設(shè)備定制,采用一體真空吸附的制程方式,選用硬質(zhì)細(xì)絲作為加熱體,有著優(yōu)越的溫度均勻性及產(chǎn)品一致性,適用于擴(kuò)散、氧化、LPCVD、PECVD等機(jī)型。
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鍍層石英管
通過(guò)納米結(jié)晶技術(shù)制備鍍層石英通管,產(chǎn)品的耐溫性能、熱震性能、抗腐蝕性能明顯提升。適用于光伏電池產(chǎn)線熱制程工藝設(shè)備。
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石英
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