斷面鈍化功能介紹

利用激光無(wú)損切割技術(shù)對(duì)電池切片，同步采用ALD工藝在邊緣沉積ALOx鈍化層，適用于TOPCon電池應(yīng)用。

激光劃片參數(shù)配置

• 功能激光劃片
• 電池尺寸尺寸182-230mm；厚度110-230um
• 產(chǎn)能≥12000片/小時(shí)
• 碎片率≤0.02%@182;≤0.03%@210
• 稼動(dòng)率≥98.5%
• 激光功率開(kāi)槽≥50W，裂片≥300W
• 激光器性能功率穩(wěn)定性≤2%RMS，年衰減<3%
• 切割綜合精度±0.1mm
• 缺陷檢測(cè)≥0.5mm*0.5mm
• 用水量每萬(wàn)片小于 1L

斷面鈍化膜厚均勻性

斷面鈍化參數(shù)配置

• 平均開(kāi)機(jī)率99%
• 載片量21600半片/單管載片
• 均勻性片內(nèi)&片間≤4%，批間≤3%
• 溫度控制四分熱場(chǎng):12段獨(dú)立控溫，兼容400℃℃退火工藝
• 工藝方式管式ALD，TMA+水
• 配置根據(jù)客戶(hù)要求匹配各種在線、離線方案

效率增益組件效果

• 組件功率提升+5.2W
• 組件開(kāi)壓(Voc.)提升+0.088V
• 組件電流(Isc.)提升+0.008A
• 組件填充(FF.)提升+0.41%

ALD常規(guī)氧化鋁下舟膜厚

• 產(chǎn)能≥7200片/小時(shí)(半片)
• Uptime≥98.5%(100%-設(shè)備故障率)
• 碎片率100um-145um≤0.1%(機(jī)損碎片數(shù)/投入片數(shù))
• AOI外觀檢測(cè)分辨率邊緣缺口、崩邊:120um x120um；污染、異物尺寸:200um x200um
• 電壓測(cè)試分辨率0.0001V
• 電流測(cè)試分辨率0.0001A
• IV 動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性<0.05%，靜態(tài)穩(wěn)定性<0.02%，每輪 EFF極差≤0.05%
• EL 可檢測(cè)最小缺陷大小0.5mm*0.5mm
• 分檔≥120bin 分檔(單邊)