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低壓硼擴(kuò)散設(shè)備

低壓硼擴(kuò)散設(shè)備

參數(shù)表

功能介紹

通過高溫?zé)岱纸夂突瘜W(xué)反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)硼硅玻璃(BSG)的生長和硼原子的擴(kuò)散摻雜。應(yīng)用于硅片氧化，硼摻雜。

參數(shù)配置

平均開機(jī)率98%
爐管內(nèi)徑 430 – 480mm
單管載片量2200 – 2880 片/管, 雙插
硅片尺寸可兼容182-230各種硅片尺寸
方阻均勻性片內(nèi)與片間 , ≤ 5%；批次間, ≤ 3%
溫度范圍600-1050℃
配置可配置水氧，在線隔膜泵清洗

技術(shù)特點(diǎn)

采用雙插大產(chǎn)能，成本低
獨(dú)創(chuàng)四分熱場，搭載ATS系統(tǒng)控溫更精準(zhǔn)
法蘭設(shè)計(jì)吹掃環(huán)，改善保養(yǎng)周期
新型水冷爐門系統(tǒng)
新型冷卻凈化臺
全自動智能化控制系統(tǒng)
一鍵溫度自整定功能，減少調(diào)試時間
全新自動吹掃模式，改善泵和耗件維護(hù)周期

鍍膜效果

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